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激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?
  • 发布日期:2019-06-13      浏览次数:199
    •   激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、最高测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪广泛应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、高端设备制造等领域。
       
        激光干涉仪的工作原理:
        激光干涉仪发射单一频率光束,光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,最后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时,激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
       

        激光干涉仪的测量精度与哪些因素有关?
        激光干涉仪在实际使用中,需要确认其在各个测量应用中能够达到的真实精度水平以确保测量数据准确可靠。激光干涉仪的测量读数最终均与激光波长有关,因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外,激光干涉仪的环境条件补偿系统的读数准确性对最终的测量精度有着重要的影响。
       
        影响激光干涉仪测量精度的因素包括:
        1、激光器频率(波长)及频率稳定性。
        2、测量读数软件系统带来的误差。
        3、反射镜、角锥棱角误差。
        4、温湿度、压力传感器误差。
        当然,在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。
     
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