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激光干涉仪在不同环境的测量结果
  • 发布日期:2019-04-12      浏览次数:179
    •       目前数控机床生产厂家多用激光干涉仪检测机床坐标定位系统精度,很少有人怀疑激光干涉仪的准确性。的确,使用经全面校准(分别在标准环境和非标准环境下校准)的双频激光干涉仪,在严格规定的标准环境和熟练操作人员使用等条件下,检测数控机床的坐标定位精度是可以达到国家有关标准规定的准确度要求。

      但很多生产厂家的现场条件属非标准环境,达不到上述标准环境条件要求,其操作人员的熟练程度和应对条件变化的处置能力也有差距,其检测结果的准确性就值得怀疑了。有些使用者用同一台激光干涉仪检测同一台数控机床,上午检测和下午检测的结果竟相差10μm以上,不知该如何处理。 

      有些计量部门曾用激光干涉仪对测长机、三坐标测量机和数控机床的坐标精度进行检定/校准时,也发现其测量结果与采用实物标准器(如二等标准线纹尺、二等量块、精密步距规等)进行校准时的测量结果有很大差别,数值相差甚至大到1020μm/1000mm。原因可能是多方面的,既有环境影响因素,如温度变化梯度较大,也有人的操作方式不当等影响因素,甚至还可能有仪器本身的温度传感器不够稳定或帖附位置不恰当等因素影响。所以在激光干涉仪使用中,有必要先用步距规进行校对。校对方法很简单:把步距规当做被检测对象,用激光干涉进行检测,如果测量结果与步距规实际值一致,说明激光干涉仪在本环境条件和使用方式下可准确使用。如果测量结果与步距规实际值相差较大,需对激光干涉仪进行误差修正,然后再用修正过的激光干涉仪再次测量步距规,直至测量结果与步距规实际值一致或误差小到可以忽略。

      误差修正的方法值得探讨,可采用适当修改初始温度设定值或修改被测对象线膨胀系数设定值等方法,总之,误差修正的目的是使再次校对时,使激光干涉仪的显示值等于或接近等于步距规的实际值。如此,可排除一些意想不到的影响激光干涉仪正确使用的因素,从而显著提高激光干涉仪在现场环境下测量结果的准确度(即减小测量结果的不确定度)

     
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